GB/T 19955.1—2005 蒸汽流真空泵性能測量方法

GB/T 19955.1—2005 蒸汽流真空泵性能測量方法

GB/T 19955.1—2005 蒸汽流真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量

Vapour vacuum pump—Measurement of performance characteristics—Part 1:Measurement of volume rate of flow(pumping speed)

(ISO 1608-1:1993,IDT)

GB/T 19955《蒸汽流真空泵性能測量方法》分為兩個部分：

第一部分：體積流率(抽速)的測量；

第二部分：臨界前級壓力的測量；

本部分為GB/T 19955的第一部分。

本部分等同于采用ISO 1608-1：1993《蒸汽流真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量》(英文版)

本部分代替JB/T 8472.1-1996《蒸汽流真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量》

一、范圍

GB/T 19955的本部分規定了測量蒸汽流真空泵體積流率的方法。

本部分所涉及的泵由下列三種油、汞蒸汽組成：

擴散泵

噴射泵

增壓泵(即泵能在分子流和層流范圍工作，具有擴散泵和噴射泵的組合性能)

這些泵可以裝或不裝擋板或阱。

二、術語和定義

下列術語和定義適用于GB/T 19955的本部分。

2.1 體積流率(抽速) volume rate of flow(pump speed)

在理想狀態下，單位時間內流經泵入口的氣體體積。

但實際上，一個給定泵在規定的條件下工作，對于給定氣體的體積流率(S)，取該氣體的流量(Q)與在給定測試罩內規定位置的平衡壓力(P)的商。即：

S=Q/P

體積流率采用的單位是立方米每小時(m3/h)或者升每秒(L/S)。對蒸汽流泵來說，只有當P超過10P0時，本表達式才有效。此處的P0是用同一的真空計測量的極限壓力。

2.2 測試罩(test dome)

是個裝在泵入口具有規定形狀和尺寸的容器，被測量的氣體通過它進入泵內，其上裝有壓力測量裝置。

2.3 極限壓力(ultimate pressure)

泵在正常工作情況下，關閉進氣閥，測試罩內趨向的最低壓力。

GB/T 19955.2—2005 蒸汽流真空泵性能測量方法 第2部分:臨界前級壓力的測量

Vapour vacuum pump—Measurement of performance characteristics—Part 2:Measurement of critical backing pressure

(ISO 1608-2:1989.IDT)

GB/T 19955《蒸汽流真空泵性能測量方法》分為兩個部分：

第一部分：體積流率(抽速)的測量；

第二部分：臨界前級壓力的測量；

本部分為GB/T 19955的第2部分。

本部分等同于采用ISO 1608-2：1993《蒸汽流真空泵性能測量方法 第2部分:臨界前級壓力的測量》(英文版)

本部分代替JB/T 8472.2-1996《蒸汽流真空泵性能測量方法 第2部分:臨界前級壓力的測量》

一、范圍

1.1、GB/T 19955 的本部分規定了測量蒸汽流真空泵臨界前級壓力的方法。

注：臨界前級壓力是超過了影響泵工作狀態的前級壓力，當超過此值時，泵不能正常工作。

蒸汽流泵的性能對前級壓力的依賴關系可用工作范圍的入口壓力和前級壓力的關系曲線圖來詳盡描述。

一般情況下，按3.1所規定的用單一參數規定臨界前級壓力是合適的。但就某些情況而言，特別是超高真空性能或者像氫和氦這樣的有關氣體的情況，可能需要完整的曲線。

1.2、本部分所涉及到得泵由下列3種油、汞蒸汽泵組成

蒸汽噴射真空泵

擴散泵

擴散噴射泵

二、規范性引用文件

下列文件中的條款通過GB/T 19955的本部分的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單或者修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版適用于本標準。

GB/T 19955.1—2005 蒸汽流真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量(ISO 1608-1:1993,IDT)

三、術語和定義

下列術語和定義適用于GB/T 19955的本部分。

3.1、臨界前級壓力 critical backing pressure

3.1.1、一般情況 general case

對于一指定流量來說，在最低前級壓力下，前級壓力增加微小百分數就引起入口壓力規定數的百分數增加。

注：在本部分中，該規定的百分數增加的最小值為10%。

3.1.2、"空載"臨界前級壓力 “no-load”critical backing pressure

對應于零流量時的臨界前級壓力。

3.1.3 、"滿載"臨界前級壓力 “full-load”critical backing pressure

對應于泵穩定工作最大流量時的臨界前級壓力

GB/T 19956.1—2005 容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量

Positive-displacement vacuum pumps—Measurement of performance characteristics—Part 1:Measurement of volume rate of flow(pumping speed)

(ISO 1607-1:1993,IDT)

GB/T 19956《容積真空泵性能測量方法》分為兩個部分：

第一部分：體積流率(抽速)的測量

第二部分：極限壓力的測量

本部分為GB/T 19956的第一部分。

本部分等同采用ISO 1607-1:1993《容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量》。

本部分代替JB/T 7266-1994《容積真空泵性能測量方法》。

一、范圍

GB/T 19956的本部分規定了容積真空泵體積流率測量方法，所研究的泵是直排大氣的并且單級獲得低于100Pa的入口極限壓力。

二、術語和定義

下列術語和定義適用于GB/T 19956的本部分。

2.1、體積流率(抽速) volume rate of flow (pumping speed)

在理想狀態下，單位時間內流經泵入口的氣體體積。

但在實際上，一個給定泵在規定條件下工作，對給定氣體的體積流率(S)取該氣體的流量(Q)與在給定測試罩內規定位置的平衡壓力(P)的商。即：

S=Q/P

體積流率采用的單位為立方米每小時(m3/h)或升每秒(L/S)

2.2、測試罩 test dome

是裝在泵入口具有規定形狀和尺寸的容器，被測量的氣體通過它進入泵內，其上裝有壓力測量裝置。

2.3、極限壓力 ultimate pressure

泵在正常工作情況下，關閉進氣閥門，測試罩趨向的最低壓力。

三、裝置

3.1、測試罩

如圖所示，形狀為圓柱體。罩的軸向尺寸為1.5D，D為罩的內徑。實驗氣體進口在罩的軸線上，并與連接法蘭的距離為D，進氣口的排列應使氣體自背離泵口的方向進入測試罩。測量入口壓力和極限壓力的真空計在距離連接法蘭0.5D處，其軸線垂直于罩的軸線。測試罩的軸線應垂直于泵入口法蘭平面。

GB/T 19956.2—2005 容積真空泵性能測量方法 第2部分:極限壓力的測量

Positive-displacement vacuum pumps—Measurement of performance characteristics—Part 2:Measurement of ultimate pressure

(ISO 1607-2:1989,IDT)

GB/T 19956《容積真空泵性能測量方法》分為兩個部分：

第一部分：體積流率(抽速)的測量

第二部分：極限壓力的測量

本部分為GB/T 19956的第二部分。

本部分等同采用ISO 1607-2:1993《容積真空泵性能測量方法 第2部分:極限壓力的測量》。

本部分代替JB/T 7266-1994《容積真空泵性能測量方法》。

一、范圍

GB/T 19956的本部分規定了容積真空泵極限壓力測量方法，所研究的泵是直排大氣的并且單級獲得低于100Pa的入口極限壓力。

二、規范性引用文件

下列文件中的條款通過GB/T 19956的本部分的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內容)或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

GB/T 19956.1—2005 容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量(ISO 1607-1:1993,IDT)

三、術語和定義

下列術語和定義適用于GB/T 19956的本部分。

3.1、極限壓力 ultimate pressure

泵在正常工作情況下，關閉進氣閥門，測試罩趨向的最低壓力。在非可凝性氣體極限壓力和極限全壓力之間必定產生一個差別。

3.2、測試罩 test dome

是裝在泵入口具有規定形狀和尺寸的容器，被測量的氣體通過它進入泵內，其上裝有壓力測量裝置。

四、裝置

4.1、測試罩

如圖所示，形狀為圓柱體。罩的軸向尺寸為1.5D，D為罩的內徑。實驗氣體進口在罩的軸線上，并與連接法蘭的距離為D，進氣口的排列應使氣體自背離泵口的方向進入測試罩。測量入口壓力和極限壓力的真空計在距離連接法蘭0.5D處，其軸線垂直于罩的軸線。測試罩的軸線應垂直于泵入口法蘭平面。