③液環(huán)式真空泵:帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi),當它旋轉(zhuǎn)時,把液體(通常為水或油)拋向泵殼形成泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積,故亦稱旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?/p>
④羅茨真空泵:泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變真空泵。機械增壓泵即為這種型式的真空泵。
2、動量傳輸泵
這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇>唧w可分為下述幾種類型。
⑴分子真空泵:它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式:
①牽引分子泵:氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量,被送到出口,因此,是一種動量傳輸泵。
②渦輪分子泵:泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
③復合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合式分子真空泵。
(2)噴射真空泵:它是利用文丘里(Venturi)效應的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵,適于在粘滯流和過渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種:
①液體噴射真空泵:以液體(通常為水)為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
②氣體噴射真空泵:以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
③蒸氣噴射真空泵:以蒸氣(水、油或汞等蒸氣)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。(3)擴散泵:以低壓高速蒸氣流(油或汞等蒸氣)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸氣射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作。可分為:
①自凈化擴散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵。
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